发明公开
- 专利标题： DRIVE APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER ROBOT HAVING COOLANT CIRCULATING PASSAGE
- 专利标题（中）： 驱动装置与冷却水流通过基板输送机器人
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申请号： EP07706698申请日： 2007-01-12
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公开(公告)号： EP1981078A4公开(公告)日： 2010-06-02
- 发明人: TANGE MAKOTO
- 申请人： NABTESCO CORP
- 专利权人： NABTESCO CORP
- 当前专利权人： NABTESCO CORP
- 优先权： JP2006005616 2006-01-13
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; B25J9/10 ; B25J19/00 ; B65G49/06 ; B65G49/07 ; F16J15/16 ; F16J15/32
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