发明公开
- 专利标题： CHIP LEVEL SENSOR WITH MULTIPLE DEGREES OF FREEDOM
- 专利标题（中）： 芝加哥辣椒芝麻酱
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申请号： EP13814290.6申请日： 2013-11-27
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公开(公告)号： EP2943799A1公开(公告)日： 2015-11-18
- 发明人: FEYH, Ando , CHEN, Po-Jui
- 申请人： Robert Bosch GmbH , Feyh, Ando , Chen, Po-Jui
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： Robert Bosch GmbH,Feyh, Ando,Chen, Po-Jui
- 当前专利权人： Robert Bosch GmbH,Feyh, Ando,Chen, Po-Jui
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 代理机构： Bee, Joachim
- 优先权： US201213690932 20121130
- 国际公布： WO2014085675 20140605
- 主分类号： G01P1/02
- IPC分类号： G01P1/02 ; G01P15/125 ; G01P15/18 ; G01C19/5755 ; G01C19/5769 ; B81B7/00 ; G01P15/08
摘要：
A sensing assembly device includes a substrate, a chamber above the substrate, a first piezoelectric gyroscope sensor positioned within the chamber, and a first accelerometer positioned within the chamber.
公开/授权文献
- EP2943799B1 CHIP LEVEL SENSOR WITH MULTIPLE DEGREES OF FREEDOM 公开/授权日：2019-02-20
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