- 专利标题： MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE
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申请号： EP14839536.1申请日： 2014-08-29
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公开(公告)号： EP3041324B1公开(公告)日： 2020-05-13
- 发明人: KIM Jaeho , SAKAKITA Hajime
- 申请人： National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- 申请人地址： 3-1, Kasumigaseki 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-8921 JP
- 专利权人： National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- 当前专利权人： National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- 当前专利权人地址： 3-1, Kasumigaseki 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-8921 JP
- 代理机构： Graf von Stosch, Andreas
- 优先权： JP2013179286 20130830
- 国际公布： WO2015030191 20150305
- 主分类号： H05H1/30
- IPC分类号： H05H1/30 ; C23C16/511 ; C23C16/513 ; H01L21/3065 ; H05H1/34 ; H05H1/46 ; C23C16/455 ; H01J37/32
公开/授权文献
- EP3041324A1 MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE 公开/授权日：2016-07-06
信息查询
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