- 专利标题： BORON-CONTAINING DOPANT COMPOSITIONS, SYSTEMS AND METHODS OF USE THEREOF FOR IMPROVING ION BEAM CURRENT AND PERFORMANCE DURING BORON ION IMPLANTATION
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申请号： EP15709078.8申请日： 2015-03-03
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公开(公告)号： EP3114699B1公开(公告)日： 2020-11-04
- 发明人: SINHA, Ashwini, K. , SMITH, Stanley, M. , HEIDERMAN, Douglas, C. , CAMPEAU, Serge, M.
- 申请人： Praxair Technology, Inc.
- 申请人地址： 10 Riverview Drive Danbury, CT 06810 US
- 专利权人： Praxair Technology, Inc.
- 当前专利权人： Praxair Technology, Inc.
- 当前专利权人地址： 10 Riverview Drive Danbury, CT 06810 US
- 代理机构： BRP Renaud & Partner mbB Rechtsanwälte Patentanwälte Steuerberater
- 优先权： US201414635413 20150302; US201461947064P 20140303
- 国际公布： WO2015134430 20150911
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317 ; H01J37/08 ; H01J37/32
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