发明公开
EP3188234A1 CIRCUIT INTÉGRÉ ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION 审中-公开
集成电路及其制造方法

CIRCUIT INTÉGRÉ ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
摘要:
L'invention concerne un circuit intégré comprenant un transistor MOS haute tension, HV, et au moins un condensateur, CAPA, dans lequel :
l'empilement de grille (11) du transistor HV comporte une première couche isolante (5, 7) reposant sur une couche semiconductrice (1) et revêtue d'un premier silicium polycristallin (9) ;
le condensateur CAPA comporte une première électrode (13) en le premier silicium polycristallin, et une deuxième électrode (25) en un deuxième silicium polycristallin (23) reposant au moins en partie sur la première électrode, un isolant (15, 17, 19) séparant la deuxième électrode de la couche semiconductrice et de la première électrode ;
des premiers espaceurs en oxyde de silicium (39) bordent latéralement la deuxième électrode (25) et l'empilement de grille (11) du transistor HV ; et
des deuxièmes espaceurs en nitrure de silicium (41) bordent les premiers espaceurs (39).
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