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发明公开
EP3279630A1 PRESSURE SENSOR MODULE 审中-公开
压力传感器模块

PRESSURE SENSOR MODULE
摘要：
A pressure sensor module (10) comprises a base electrode (14) surrounding at least a part of a bottom electrode (15), and an anchor arrangement (20) on top of the base electrode (14) comprising at least two electrically conductive walls (19) that both surround at least a part of the bottom electrode (15). The pressure sensor module (10) further comprises an electrically conductive layer (18) that covers at least the bottom electrode (15) and the anchor arrangement (20) such that a cavity (17) is formed between the bottom electrode (15), the anchor arrangement (20) and the electrically conductive layer (18). The proportionate area of the electrically conductive walls (19) in a cross section extending from the surface (32) of the inner wall of the anchor arrangement (20) facing the cavity (17) to the surface (33) of the outermost wall of the anchor arrangement (20) facing away from the cavity (17) in a plane parallel to the plane of the bottom electrode (15) is equal to or less than 10 %.
摘要（中）：

一种压力传感器模块（10），包括围绕底部电极（15）的至少一部分的底部电极（14）和位于底部电极（14）顶部上的锚定装置（20），该锚定装置包括至少两个导电壁 （19），其均包围所述底部电极（15）的至少一部分。 所述压力传感器模块（10）还包括导电层（18），所述导电层至少覆盖所述底部电极（15）和所述锚定装置（20），使得在所述底部电极（15），所述底部电极 锚定装置（20）和导电层（18）。 导电壁（19）在从锚定装置（20）的内壁的面向空腔（17）的表面（32）延伸到空腔（17）的最外壁的表面（33）的横截面中的比例区域 在平行于底部电极（15）的平面的平面中远离空腔（17）的锚定装置（20）等于或小于10％。

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