发明公开
EP3308555A2 MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
审中-公开
用于与流体的体积流量相互作用的MEMS转换器及其制造方法
- 专利标题： MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
- 专利标题（英）： EP3308555A2 - Mems transducer for interacting with a volume flow of a fluid and method for producing same
- 专利标题（中）： 用于与流体的体积流量相互作用的MEMS转换器及其制造方法
-
申请号： EP16729884.3申请日： 2016-06-14
-
公开(公告)号： EP3308555A2公开(公告)日： 2018-04-18
- 发明人: SCHENK, Harald , CONRAD, Holger , GAUDET, Matthieu , SCHIMMANZ, Klaus , LANGA, Sergiu , KAISER, Bert
- 申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 申请人地址： Hansastraße 27c 80686 München DE
- 专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人地址： Hansastraße 27c 80686 München DE
- 代理机构： Schenk, Markus
- 优先权： DE102015210919 20150615
- 国际公布： WO2016202790 20161222
- 主分类号： H04R19/00
- IPC分类号： H04R19/00 ; B81C1/00
摘要：
The invention relates to a MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid, comprising a substrate having a cavity, and an electromechanical transducer which is connected to the substrate in the cavity and has an element which can be deformed along a lateral movement direction. A deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.
公开/授权文献
信息查询
