- 专利标题： SYSTEM AND METHOD FOR MAINTAINING A SMOOTHED SURFACE ON A MEMS DEVICE
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申请号： EP16822697.5申请日： 2016-12-29
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公开(公告)号： EP3397587B1公开(公告)日： 2019-11-20
- 发明人: STEHLE, Jochen , YAMA, Gary
- 申请人： Robert Bosch GmbH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： Robert Bosch GmbH
- 当前专利权人： Robert Bosch GmbH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： US201562273107P 20151230
- 国际公布： WO2017114881 20170706
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00
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