发明公开
- 专利标题： SELECTIVELY-PLIABLE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) DIAMOND OR OTHER HEAT SPREADER
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申请号： EP20751804.4申请日： 2020-06-16
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公开(公告)号： EP4004968A1公开(公告)日： 2022-06-01
- 发明人: ALTMAN, David, H. , TRULLI, Susan, C. , BAR-COHEN, Avram
- 申请人： Raytheon Company
- 申请人地址： US Waltham, MA 02451 870 Winter Street
- 代理机构： Dentons UK and Middle East LLP
- 优先权： US202016901922 20200615
- 国际公布： WO2021015890 20210128
- 主分类号： H01L21/48
- IPC分类号： H01L21/48 ; H01L23/367 ; H01L23/373 ; H01L23/42
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