发明公开
- 专利标题： METHODS FOR FORMING A PROTECTIVE COATING ON PROCESSING CHAMBER SURFACES OR COMPONENTS
-
申请号： EP20863668.8申请日： 2020-07-28
-
公开(公告)号： EP4028572A1公开(公告)日： 2022-07-20
- 发明人: BAJAJ, Geetika , PAREEK, Yogita , GORADIA, Prerna Sonthalia , KADAM, Ankur
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US201916698549 20191127
- 国际公布： WO2021050168 20210318
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C23C16/40 ; C23C16/455 ; C23C16/02
信息查询
IPC分类:
