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1.

发明公开
METHODS FOR FORMING A PROTECTIVE COATING ON PROCESSING CHAMBER SURFACES OR COMPONENTS 审中-公开

公开(公告)号：EP4028572A1

公开(公告)日：2022-07-20

申请号：EP20863668.8

申请日：2020-07-28

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika , PAREEK, Yogita , GORADIA, Prerna Sonthalia , KADAM, Ankur

IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/02

2.

发明公开
PROTECTIVE MULTILAYER COATING FOR PROCESSING CHAMBER COMPONENTS 审中-公开

公开(公告)号：EP4010916A1

公开(公告)日：2022-06-15

申请号：EP20851743.3

申请日：2020-06-22

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika , PAREEK, Yogita , THAKARE, Darshan , GORADIA, Prerna Sonthalia , KADAM, Ankur , PAPKE, Kevin A.

IPC分类号： H01J37/32 , C23C28/00 , C23C16/44