发明公开
- 专利标题: ION CURRENT DROOP COMPENSATION
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申请号: EP21838456.8申请日: 2021-07-09
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公开(公告)号: EP4179561A1公开(公告)日: 2023-05-17
- 发明人: BOWMAN, Christopher , LISTON, Connor , MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy
- 申请人: Eagle Harbor Technologies, Inc.
- 申请人地址: US Seattle, WA 98119 169 Western Ave W, Suite 263
- 代理机构: Haseltine Lake Kempner LLP
- 优先权: US202063087150 P 20201002
- 国际公布: WO2022011315 20220113
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; H01J37/34 ; H01J37/36 ; H02M1/34
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