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1.

发明公开
NANOSECOND PULSER RF ISOLATION FOR PLASMA SYSTEMS 审中-公开

公开(公告)号：EP4082036A1

公开(公告)日：2022-11-02

申请号：EP20904785.1

申请日：2020-12-23

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： ZIEMBA, Timothy , MILLER, Kenneth

IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/34 , H01L21/44 , H05H1/42 , H05H1/46

2.

发明公开
NANOSECOND PULSER BIAS COMPENSATION WITH CORRECTION 审中-公开

公开(公告)号：EP4059041A1

公开(公告)日：2022-09-21

申请号：EP20887869.4

申请日：2020-11-16

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： ZIEMBA, Timothy , QUINLEY, Morgan , SLOBODOV, Ilia , HENSON, Alex , CARSCADDEN, John , PRAGER, James , MILLER, Kenneth

IPC分类号： H01J37/32

3.

发明公开
HIGH FREQUENCY RF GENERATOR AND DC PULSING 审中-公开

公开(公告)号：EP4150661A1

公开(公告)日：2023-03-22

申请号：EP21803769.5

申请日：2021-05-12

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： BOWMAN, Christopher , LISTON, Connor , MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy

IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46 , H01J37/32

4.

发明公开
NANOSECOND PULSER PULSE GENERATION 审中-公开

公开(公告)号：EP3831169A1

公开(公告)日：2021-06-09

申请号：EP19841651.3

申请日：2019-07-29

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： SLOBODOV, Ilia , ZIEMBA, Timothy , CARSCADDEN, John , MILLER, Kenneth , YEAGER, Huatsern , HANSON, Eric , YEAGER, TaiSheng , MUGGLI, Kevin , QUINLEY, Morgan , LISTON, Connor

IPC分类号： H05H1/24 , H01J37/32 , C01B13/11 , C01B13/10 , H03K5/13 , H03K3/02 , H03K7/04 , H03K7/06 , H03K7/08 , H03K7/10

5.

发明公开
SPATIALLY VARIABLE WAFER BIAS POWER SYSTEM 审中-公开

公开(公告)号：EP3830957A1

公开(公告)日：2021-06-09

申请号：EP19841903.8

申请日：2019-07-29

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy , CARSCADDEN, John , PRAGER, James , SLOBODOV, Ilia

IPC分类号： H03K3/01 , H03K3/017 , H03K3/64 , H03K3/78 , H01J37/02

6.

发明公开
KLYSTRON DRIVER 审中-公开

公开(公告)号：EP3977616A1

公开(公告)日：2022-04-06

申请号：EP20813652.3

申请日：2020-05-23

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： PRAGER, James , ZIEMBA, Timothy , MILLER, Kenneth , CARSCADDEN, John , HENSON, Alex , WILSON, Steven

IPC分类号： H03F3/56 , G05F1/46 , H03F3/189 , H02M7/02 , H02M7/10

7.

发明公开
NANOSECOND PULSER BIAS COMPENSATION 审中-公开

公开(公告)号：EP3830859A1

公开(公告)日：2021-06-09

申请号：EP19840682.9

申请日：2019-07-29

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy , CARSCADDEN, John , QUINLEY, Morgan , SLOBODOV, Ilia

IPC分类号： H01J37/32 , H03K3/017 , H03K3/02 , H03K3/30 , H03K3/53 , H03K3/57 , H03K5/01 , H03K17/74

8.

发明公开
ION CURRENT DROOP COMPENSATION 审中-公开

公开(公告)号：EP4222861A1

公开(公告)日：2023-08-09

申请号：EP21876672.3

申请日：2021-10-04

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： BOWMAN, Christopher , LISTON, Connor , MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy

IPC分类号： H03K3/017 , H03K3/64 , H03K3/78 , H01J37/34

9.

发明公开
ION CURRENT DROOP COMPENSATION 审中-公开

公开(公告)号：EP4179561A1

公开(公告)日：2023-05-17

申请号：EP21838456.8

申请日：2021-07-09

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： BOWMAN, Christopher , LISTON, Connor , MILLER, Kenneth , ZIEMBA, Timothy

IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/34 , H01J37/36 , H02M1/34

10.

发明公开
NANOSECOND PULSER RF ISOLATION 审中-公开

公开(公告)号：EP3994716A1

公开(公告)日：2022-05-11

申请号：EP20835623.8

申请日：2020-07-01

申请人： Eagle Harbor Technologies, Inc.

发明人： BOWMAN, Christopher , LISTON, Connor , YANG, Nicolas A. , MILLER, Kenneth , SLOBODOV, Ilia , ZIEMBA, Timothy

IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/00 , H03K3/00