- 专利标题： COLLAGE AUTO-ALIGNÉ PAR CONTRASTE D'HYDROPHILIE
- 专利标题（英）： SELF-ALIGNED BONDING BY HYDROPHILIC CONTRAST
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申请号： EP23180309.9申请日： 2023-06-20
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公开(公告)号： EP4300553A1公开(公告)日： 2024-01-03
- 发明人: MONTMEAT, Pierre , FOURNEL, Franck , ENOT, Thierry
- 申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址： FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- 代理机构： Cabinet Beaumont
- 优先权： FR2206445 20220628
- 主分类号： H01L21/56
- IPC分类号： H01L21/56 ; H01L21/60 ; H01L23/31 ; H01L21/683 ; H01L21/78
摘要：
La présente description concerne un procédé de fabrication d'une structure destinée à être assemblée avec une autre structure par collage auto-aligné par contraste d'hydrophilie, comportant les étapes successives suivantes :
a) définition de plots (15) du côté d'une première face d'un premier substrat (11) ;
b) report d'un deuxième substrat (27) du côté de la première face du premier substrat (11) ;
c) formation, sur les flancs et/ou sur une partie périphérique de la face supérieure des plots (15), d'un matériau (25) plus hydrophobe qu'un matériau de la face supérieure des plots ; et
d) retrait du deuxième substrat (27).
a) définition de plots (15) du côté d'une première face d'un premier substrat (11) ;
b) report d'un deuxième substrat (27) du côté de la première face du premier substrat (11) ;
c) formation, sur les flancs et/ou sur une partie périphérique de la face supérieure des plots (15), d'un matériau (25) plus hydrophobe qu'un matériau de la face supérieure des plots ; et
d) retrait du deuxième substrat (27).
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