公开(公告)号：EP4300553A1

公开(公告)日：2024-01-03

申请号：EP23180309.9

申请日：2023-06-20

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： MONTMEAT, Pierre ,  FOURNEL, Franck ,  ENOT, Thierry

IPC分类号： H01L21/56 ,  H01L21/60 ,  H01L23/31 ,  H01L21/683 ,  H01L21/78

摘要： La présente description concerne un procédé de fabrication d'une structure destinée à être assemblée avec une autre structure par collage auto-aligné par contraste d'hydrophilie, comportant les étapes successives suivantes :
a) définition de plots (15) du côté d'une première face d'un premier substrat (11) ;
b) report d'un deuxième substrat (27) du côté de la première face du premier substrat (11) ;
c) formation, sur les flancs et/ou sur une partie périphérique de la face supérieure des plots (15), d'un matériau (25) plus hydrophobe qu'un matériau de la face supérieure des plots ; et
d) retrait du deuxième substrat (27).