- 专利标题： DIRECT-PICK ROBOT FOR MULTI STATION SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBERS
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申请号： EP22902408.8申请日： 2022-12-01
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公开(公告)号： EP4441779A1公开(公告)日： 2024-10-09
- 发明人: BLANK, Richard M. , KREMERMAN, Izya
- 申请人： Lam Research Corporation
- 申请人地址： US Fremont, CA 94538 4650 Cushing Parkway
- 专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人地址： US Fremont, CA 94538 4650 Cushing Parkway
- 代理机构： Mewburn Ellis LLP
- 优先权： US 2163264905P 2021.12.03
- 国际申请： US2022080775 2022.12.01
- 国际公布： WO2023102497 2023.06.08
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/687 ; H01L21/67 ; B25J11/00 ; B25J15/00 ; B25J9/04
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