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发明公开
DIRECT-PICK ROBOT FOR MULTI STATION SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBERS 审中-公开

公开(公告)号：EP4441779A1

公开(公告)日：2024-10-09

申请号：EP22902408.8

申请日：2022-12-01

申请人： Lam Research Corporation

发明人： BLANK, Richard M. , KREMERMAN, Izya

IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , B25J11/00 , B25J15/00 , B25J9/04

CPC分类号： H01L21/67754 , H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/0087