- 专利标题： 圧電素子及び圧電素子応用デバイス並びに圧電素子の製造方法
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申请号： JP2015058690申请日： 2015-03-20
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公开(公告)号： JP6610856B2公开(公告)日： 2019-11-27
- 发明人: 角 浩二 , 古林 智一 , 北田 和也
- 申请人： セイコーエプソン株式会社
- 申请人地址： 東京都新宿区新宿四丁目1番6号
- 专利权人： セイコーエプソン株式会社
- 当前专利权人： セイコーエプソン株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都新宿区新宿四丁目1番6号
- 代理商 栗原 浩之
- 主分类号： H01L41/317
- IPC分类号： H01L41/317 ; H01L41/09 ; B41J2/14 ; B41J2/16 ; C04B35/00 ; C01G33/00 ; H01L41/187
公开/授权文献
- JP2016178253A 圧電素子及び圧電素子応用デバイス並びに圧電素子の製造方法 公开/授权日：2016-10-06
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