圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、及び、ロボット

    公开(公告)号:JP2021182816A

    公开(公告)日:2021-11-25

    申请号:JP2020087258

    申请日:2020-05-19

    Abstract: 【課題】多連構成の圧電駆動装置において、異常がある圧電モーターを検出する方法を提供すること。 【解決手段】駆動用の圧電素子、及び検出用の圧電素子を有する圧電モーターを複数個連結した圧電駆動装置の制御方法であって、複数の前記圧電モーターは、同一の駆動信号により駆動されており、前記駆動信号は、前記検出用の圧電素子からの検出信号に基づく、前記駆動信号の周波数の帰還制御を含む追尾制御が施され、前記追尾制御が施された初期の前記駆動信号により駆動した際の前記検出信号の平均の周波数を初期周波数f0として記憶し、前記初期周波数f0と、前記初期に続く駆動時における前記駆動信号により駆動した際の前記検出信号の平均の周波数faとの差分が、第1の閾値より大きいか否か確認し、前記第1の閾値以下の場合は、前記駆動信号による駆動を継続し、前記第1の閾値より大きい場合は、前記駆動信号が異常であると判断する。 【選択図】図6

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