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    圧電素子、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
    1.
    发明专利
    圧電素子、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021182602A

    公开(公告)日：2021-11-25

    申请号：JP2020088038

    申请日：2020-05-20

    申请人： セイコーエプソン株式会社

    发明人： 北田 和也

    IPC分类号： H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/29 ,  B41J2/14 ,  H01L41/187

    摘要： 【課題】圧電素子の特性を向上させる。 【解決手段】基板上に、第1電極とシード層と圧電体層と第2電極とがこの順で積層された圧電素子であって、圧電体層は、鉛、ジルコニウムおよびチタンを構成元素として含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物で構成され、シード層は、鉛、鉄およびチタンを構成元素として含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物で構成される。 【選択図】図5

    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス
    7.
    发明专利
    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017050353A

    公开(公告)日：2017-03-09

    申请号：JP2015171297

    申请日：2015-08-31

    申请人： セイコーエプソン株式会社

    发明人： 北田 和也

    IPC分类号： H01L41/09 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  B41J2/14 ,  C04B35/00 ,  H01L41/187

    摘要： 【課題】圧電特性の向上した圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】第1電極60と、前記第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含む擬立方晶以外の結晶構造を有するペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、前記圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、前記圧電体層70は、比誘電率の温度変化をみたとき、キュリー温度よりも低い温度で変化点を有する。 【選択図】図3

    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス
    8.
    发明专利
    圧電素子、及び圧電素子応用デバイス 审中-公开
    一种压电元件，并且压电元件施加装置

    公开(公告)号：JP2016225550A

    公开(公告)日：2016-12-28

    申请号：JP2015112680

    申请日：2015-06-02

    申请人： セイコーエプソン株式会社

    发明人： 酒井 朋裕 ,  角 浩二 ,  一色 鉄也 ,  高橋 敏明 ,  古林 智一 ,  北田 和也

    IPC分类号： H01L41/187 ,  H01L41/317 ,  H01L41/43 ,  B41J2/14 ,  H01L41/09

    CPC分类号： H01L41/04 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/18 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/318 ,  B41J2/14201 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/03

    摘要： 【課題】圧電特性の向上、及び、リーク電流の抑制の少なくとも一方を実現した圧電素子、及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】第1電極60と、前記第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、前記圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、前記圧電体層70を10万倍で断面SEM像を撮影し、横方向の測定値が1273nmとなる条件で評価を行ったとき、当該圧電体層70には、2個以上のボイド75が含まれており、各ボイドの膜厚方向に最大となる径のうち、最大値と最小値との差が14nm以下であり、かつ、前記最大値が24nm以下である。 【選択図】 図4

    摘要翻译： 压电特性的改进，并且提供的压电元件，以实现泄漏电流的抑制中的至少一个，和压电元件施加装置。 和第一电极60通过溶液法在第一电极60，钾，钠，和铌，由钙钛矿结构包括的复合氧化物的压电体层70形成 设置在压电层70，压电元件300上的第二电极80具有，通过以100,000倍，横向和1273nm测量值拍摄的横截面SEM图像的压电体层70 制成当条件下评价，以70是包含两个或更多个空隙75，的直径变于空隙的厚度方向上最大，最大值和最小值之间的压电体层 所不同的是在14nm以下或更小，并且所述最大值为不超过24纳米。 点域4