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Invention Patent
JPWO2020121596A1 圧電トランスデューサ 有权

圧電トランスデューサ
Abstract:
複数の梁部(120)の各々は、基部(110)に端部(121)を支持されて、基部(110)より上側の位置にて基部(110)から離れる方向に延在している。複数の梁部(120)の各々は、複数の層からなる。複数の梁部(120)の各々は、圧電体層(122)と、圧電体層(122)の上側に配置された上部電極層(123)と、圧電体層(122)を挟んで上部電極層(123)の少なくとも一部に対向するように配置された下部電極層(124)とを含んでいる。固定部(130)は、複数の梁部(120)の各々の端部(121)を基部(110)と挟むように梁部(120)上に配置されている。固定部(130)は、上下方向において基部(110)の少なくとも一部と重なるように位置しつつ、梁部(120)の延在方向において、基部(110)より突出するように延在している。
Abstract(English):

A piezoelectric transducer includes beam portions supported by a base portion at an end portion and extending in a direction away from the base portion above the base portion. Each beam portion includes a piezoelectric layer, an upper electrode layer on an upper side of the piezoelectric layer, and a lower electrode layer facing at least a portion of the upper electrode layer with the piezoelectric layer interposed therebetween. A fixing portion is disposed on the beam portion to sandwich the end portion of each beam portion between the fixing portion and the base portion. The fixing portion overlaps at least a portion of the base portion in an up-down direction, and extends to protrude from the base portion in an extending direction of the beam portion.

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