公开(公告)号：JP6973745B2

公开(公告)日：2021-12-01

申请号：JP2017175006

申请日：2017-09-12

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 小林 宏樹 ,  露木 達朗 ,  神保 武人

IPC: C23C14/34 ,  H01L41/04 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319 ,  H01L27/11507 ,  H01L41/113 ,  H01L41/09 ,  H01L21/316 ,  B81C1/00 ,  C23C14/08

公开(公告)号：JPWO2020121596A1

公开(公告)日：2021-11-04

申请号：JP2019032100

申请日：2019-08-16

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 梅澤 青司 ,  池内 伸介 ,  黒川 文弥 ,  安達 永純 ,  持田 洋一

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/316 ,  B81B3/00 ,  H04R17/00

Abstract: 複数の梁部(120)の各々は、基部(110)に端部(121)を支持されて、基部(110)より上側の位置にて基部(110)から離れる方向に延在している。複数の梁部(120)の各々は、複数の層からなる。複数の梁部(120)の各々は、圧電体層(122)と、圧電体層(122)の上側に配置された上部電極層(123)と、圧電体層(122)を挟んで上部電極層(123)の少なくとも一部に対向するように配置された下部電極層(124)とを含んでいる。固定部(130)は、複数の梁部(120)の各々の端部(121)を基部(110)と挟むように梁部(120)上に配置されている。固定部(130)は、上下方向において基部(110)の少なくとも一部と重なるように位置しつつ、梁部(120)の延在方向において、基部(110)より突出するように延在している。

公开(公告)号：JP2021116437A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：JP2020008636

申请日：2020-01-22

Applicant: 学校法人同志社 ,  大鉢 忠 ,  ヤマナカヒューテック株式会社

Inventor： 吉門 進三 ,  大鉢 忠 ,  竹本 菊郎 ,  宇野 裕行 ,  木村 直人 ,  高崎 正規

IPC: H01L21/285 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/22 ,  C23C14/34

Abstract: 【課題】基板に形成される膜に不純物が混入することを効果的に抑制できるターゲット容器を提供する。 【解決手段】ターゲット容器100は、凹部3と、本体部1とを備える。凹部3には、スパッタリングターゲットTAである粉体材料MTが配置されることが可能である。本体部1には、凹部3が形成される。凹部3は、凹部本体33と、第1コーティング層31とを含む。第1コーティング層31は、凹部本体33を覆い、粉体材料MTに接触することが可能である。凹部本体33は、第1コーティング層31と異なる成分を有する。第1コーティング層31は、粉体材料MTと同じ成分からなるか、粉体材料MTに含まれる固体材料と同じ成分からなるか、粉体材料MTに含まれる固体材料と同じ成分と気体との化合物からなるか、又は、粉体材料MTと同じ成分と気体との化合物からなる。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2021088773A

公开(公告)日：2021-06-10

申请号：JP2021019422

申请日：2021-02-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 柴田 憲治 ,  渡辺 和俊 ,  堀切 文正

IPC: C01G33/00 ,  C04B35/495 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/332 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H03H9/25 ,  C23C14/34

Abstract: 【課題】組成式(K 1−x Na x )NbO 3 (0
【解決手段】組成式(K 1−x Na x )NbO 3 (0
【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021502566A

公开(公告)日：2021-01-28

申请号：JP2020544078

申请日：2018-11-08

Applicant: シムコ・ノース・アメリカ・インコーポレイテッド

Inventor： バン、ダイアン ,  ボス、ピーター・マイケル

IPC: B64C1/00 ,  B64F5/60 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/053 ,  H01L41/047 ,  H01L41/316 ,  H01L41/317 ,  G01L1/16

Abstract: 本発明は、好ましい実施形態では、リアルタイムDPHMを提供し、破壊的な問題を解決/軽減するために、ロードリフティング構造(翼および着陸装置など)に容易に一体化することができる感知システムに関する。広くは、本感知システムは、少なくとも1つのシム部をTENGまたはPENGなど少なくとも1つのナノ発電機と組み合わせる。本感知システムの主な利点は、単一の構造において、以下の機能、すなわち(a)感知システムが設置される構成部品内のギャップ管理、(b)感知システムが設置される構成部品のための測定データの収集/記憶、(c)感知システムが設置される構成部品の動作環境からエネルギーをハーベスティング/貯蔵すること(たとえば、本感知システムが航空機の構造状態の査定のために使用されるときのDPHMデータ)、および(d)感知システムが設置される構成部品のための測定データをユーザインターフェースにワイヤレス送信することを組み合わせることである。

公开(公告)号：JP6804615B2

公开(公告)日：2020-12-23

申请号：JP2019191825

申请日：2019-10-21

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 柴田 憲治 ,  渡辺 和俊 ,  堀切 文正

IPC: H01L41/319 ,  H01L41/316 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187

公开(公告)号：JP2020175568A

公开(公告)日：2020-10-29

申请号：JP2019078776

申请日：2019-04-17

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 小林 宏樹 ,  露木 達朗 ,  木村 勲 ,  神保 武人 ,  鄒 弘綱

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  C23C14/08 ,  B32B9/00

Abstract: 【課題】本来の成膜温度よりも低い成膜温度で成膜しても膜質の低下を抑制することができる多層構造体を提供する。 【解決手段】基板の一主面側に絶縁層と導電層が順に重ねて配された基体と、前記基体上に誘電体膜を備えた多層構造体であって、前記誘電体膜は、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)、及び酸素(O)を含み、かつ、該誘電体膜に含まれる前記Zrに対する前記Pbの比率(Pb/Zr)が、1.72以上1.90より小さい。 【選択図】図10

公开(公告)号：JP2020077788A

公开(公告)日：2020-05-21

申请号：JP2018210759

申请日：2018-11-08

Applicant: 国立研究開発法人産業技術総合研究所

Inventor： 田原 竜夫 ,  秋山 守人 ,  松田 修

IPC: H01L41/316 ,  H01L41/319 ,  H01L41/187

Abstract: 【課題】構造およびプロセスを複雑化させることなく、圧電体薄膜内に生じる応力を低減し、かつ所望の圧電応答性を有する圧電体薄膜、およびその製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】Alを構成成分とする窒化物を含む圧電体薄膜であって、前記圧電体薄膜中に含まれるN、OおよびArの総量に対するArのモル分率が0.7%〜1.0%とし、かつOのモル分率が6.0%〜9.0%とする。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2020025082A

公开(公告)日：2020-02-13

申请号：JP2019106099

申请日：2019-06-06

Applicant: 株式会社リコー

Inventor： 近藤 尚弥 ,  平林 拓磨

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/318 ,  H01L41/316 ,  B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  B41J2/175 ,  B41J2/165 ,  H01L41/187

Abstract: 【課題】高湿度環境下においても電気機械変換特性が維持され、故障することなく駆動の継続が可能であり、信頼性の高い電気機械変換素子を提供する。 【解決手段】Pb、Zr及びTiを少なくとも含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物で構成された電気機械変換膜16と、電気機械変換膜16を挟んで配置された一対の電極15,17と、電気機械変換膜16及び一対の電極15,17を被覆する絶縁保護膜21と、を有し、電気機械変換膜16中のPb含有率が膜厚方向に略均一であり、水蒸気圧が300kPaの環境において、一対の電極15,17から電気的に接続された端子間で測定されるリーク電流密度が4.2×10 −6 A/cm 2 以下である電気機械変換素子20。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2020500138A

公开(公告)日：2020-01-09

申请号：JP2019519383

申请日：2017-10-31

Applicant: クエスト インテグレーテッド, エルエルシー

Inventor： フラテッロ, ヴィンセント

IPC: C30B29/24 ,  C30B29/30 ,  C30B11/00 ,  C30B15/00 ,  C30B15/34 ,  C30B17/00 ,  H01L41/187 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/316 ,  H01L41/41 ,  H01L41/43 ,  H01L41/318 ,  C30B29/32

Abstract: 液相又は気相手段によるペロブスカイト結晶構造の単結晶エピタキシャル膜の成長は、関心の対象となる格子定数範囲内の格子定数整合性が改善された単結晶ペロブスカイト基板材料を提供することによって達成することができる。現在の基板は、材料のコスト及び成長の困難さのために、良好な格子整合性を提供せず、特性が劣っており、又はサイズ及び入手可能性が限られている。この問題は、擬二元系モル状態図における融解曲線の温度最小値の調和融解性組成で生じる均衡融点を有する混合物から成長させた、本明細書に記載される単結晶ペロブスカイト固溶体によって解決される。したがって、単結晶ペロブスカイト固溶体、構造、及び単結晶ペロブスカイト固溶体を含むデバイス、及び単結晶ペロブスカイト固溶体を作製する方法が本明細書に記載される。 【選択図】図11