Invention Publication
KR1020170051538A 타겟 특징부와 레이저 비임의 관통 렌즈 정렬을 사용하는 레이저 처리 시스템 审中-实审
一种使用激光束的目标特征和透镜对准的激光加工系统

타겟 특징부와 레이저 비임의 관통 렌즈 정렬을 사용하는 레이저 처리 시스템
Abstract:
작업편을마이크로기계가공하기위한레이저처리시스템은작업편의특징부를처리하기위한레이저펄스들을생성하기위한레이저소스와, 작업편의표면에관하여처리궤적에따른레이저비임스팟위치의제1 상대이동을부여하기위한갈바노미터-구동(갤보) 서브시스템과, 음향-광학편향기(AOD) 서브시스템을포함한다. AOD 서브시스템은 AOD들과전자-광학편향기들의조합을포함할수 있다. AOD 서브시스템은디더방향에따른편향위치의함수로서레이저펄스들의강도프로파일을변화시킬수 있다. AOD 서브시스템은작업편특징부들에처리레이저비임을정렬하기위해사용될수 있다.
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