Invention Publication
- Patent Title: 타겟 특징부와 레이저 비임의 관통 렌즈 정렬을 사용하는 레이저 처리 시스템
- Patent Title (English): Laser processing systems using through-the-lens alignment of a laser beam with a target feature
- Patent Title (中): 一种使用激光束的目标特征和透镜对准的激光加工系统
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Application No.: KR1020177011821Application Date: 2010-05-28
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Publication No.: KR1020170051538APublication Date: 2017-05-11
- Inventor: 언라쓰마크에이. , 메루브메루비오글루
- Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
- Applicant Address: 미국, 오리건 *****, 포트랜드, 노스웨스트 싸이언스 파크 드라이브*****
- Assignee: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
- Current Assignee: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
- Current Assignee Address: 미국, 오리건 *****, 포트랜드, 노스웨스트 싸이언스 파크 드라이브*****
- Agent 특허법인 광장리앤고
- Priority: US61/181,889 2009-05-28
- International Application: PCT/US2010/036707 2010-05-28
- International Announcement: WO2010138900 2010-12-02
- Main IPC: B23K26/06
- IPC: B23K26/06 ; B23K26/40 ; B23K26/08 ; B23K26/03 ; B23K26/046 ; B23K101/40 ; B23K103/00
Abstract:
작업편을마이크로기계가공하기위한레이저처리시스템은작업편의특징부를처리하기위한레이저펄스들을생성하기위한레이저소스와, 작업편의표면에관하여처리궤적에따른레이저비임스팟위치의제1 상대이동을부여하기위한갈바노미터-구동(갤보) 서브시스템과, 음향-광학편향기(AOD) 서브시스템을포함한다. AOD 서브시스템은 AOD들과전자-광학편향기들의조합을포함할수 있다. AOD 서브시스템은디더방향에따른편향위치의함수로서레이저펄스들의강도프로파일을변화시킬수 있다. AOD 서브시스템은작업편특징부들에처리레이저비임을정렬하기위해사용될수 있다.
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