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公开(公告)号：KR1020170051538A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020177011821
申请日：2010-05-28
Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
IPC: B23K26/06 , B23K26/40 , B23K26/08 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K101/40 , B23K103/00
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/046 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/50
Abstract: 작업편을마이크로기계가공하기위한레이저처리시스템은작업편의특징부를처리하기위한레이저펄스들을생성하기위한레이저소스와, 작업편의표면에관하여처리궤적에따른레이저비임스팟위치의제1 상대이동을부여하기위한갈바노미터-구동(갤보) 서브시스템과, 음향-광학편향기(AOD) 서브시스템을포함한다. AOD 서브시스템은 AOD들과전자-광학편향기들의조합을포함할수 있다. AOD 서브시스템은디더방향에따른편향위치의함수로서레이저펄스들의강도프로파일을변화시킬수 있다. AOD 서브시스템은작업편특징부들에처리레이저비임을정렬하기위해사용될수 있다.
Abstract translation: 激光加工系统以赋予其中根据相对于激光源和用于产生用于处理方便激光脉冲典型表面操作治疗轨迹的激光束的光点的第一相对移动提供的工作部分，用于工件加工的微机械 一个电流计驱动（振镜）子系统和一个声光偏转器（AOD）子系统。 AOD子系统可以包括AOD和电光偏转器的组合。 AOD子系统可以sikilsu改变激光脉冲的强度分布作为对应于抖动方向的偏转位置的函数。 AOD子系统可用于将加工激光特征与工件特征对齐。
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公开(公告)号：KR102216782B1
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：KR1020207008102
申请日：2010-05-28
Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
IPC: B23K26/06 , B23K26/40 , B23K26/082 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K103/00 , B23K101/40
Abstract: 작업편을마이크로기계가공하기위한레이저처리시스템은작업편의특징부를처리하기위한레이저펄스들을생성하기위한레이저소스와, 작업편의표면에관하여처리궤적에따른레이저비임스팟위치의제1 상대이동을부여하기위한갈바노미터-구동(갤보) 서브시스템과, 음향-광학편향기(AOD) 서브시스템을포함한다. AOD 서브시스템은 AOD들과전자-광학편향기들의조합을포함할수 있다. AOD 서브시스템은디더방향에따른편향위치의함수로서레이저펄스들의강도프로파일을변화시킬수 있다. AOD 서브시스템은작업편특징부들에처리레이저비임을정렬하기위해사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR102062203B1
公开(公告)日：2020-01-06
申请号：KR1020187024022
申请日：2010-05-28
Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
IPC: B23K26/06 , B23K26/40 , B23K26/082 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K101/40 , B23K103/00
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公开(公告)号：KR1020120027393A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：KR1020117030939
申请日：2010-05-28
Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , B23K26/082 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K26/08 , B23K101/40 , B23K103/00
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/046 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , B23K26/064
Abstract: 작업편을 마이크로기계가공하기 위한 레이저 처리 시스템은 작업편의 특징부를 처리하기 위한 레이저 펄스들을 생성하기 위한 레이저 소스와, 작업편의 표면에 관하여 처리 궤적에 따른 레이저 비임 스팟 위치의 제1 상대 이동을 부여하기 위한 갈바노미터-구동(갤보) 서브시스템과, 음향-광학 편향기(AOD) 서브시스템을 포함한다. AOD 서브시스템은 AOD들과 전자-광학 편향기들의 조합을 포함할 수 있다. AOD 서브시스템은 디더 방향에 따른 편향 위치의 함수로서 레이저 펄스들의 강도 프로파일을 변화시킬 수 있다. AOD 서브시스템은 작업편 특징부들에 처리 레이저 비임을 정렬하기 위해 사용될 수 있다.
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