Invention Patent
TW201528522A 金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之半導體功率元件結構 审中-公开
金属带保护环沟槽短接本体区以缩小端接区之半导体功率组件结构

金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之半導體功率元件結構
Abstract:
本發明提出一種金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之結構,其中形成在第一導電類型之半導體基板中之半導體功率元件,包括一個主動區和一個包圍著主動區並且設置在半導體基板邊緣附近之端接區。端接區包括多個用導電材料填充之溝槽,構成一個屏蔽電極,沿溝槽側壁和溝槽底面藉由電介質層絕緣, 其中溝槽穿過半導體基板頂面附近之第二導電類型之本體區垂直延伸到第一導電類型之表面屏蔽區。設置在表面屏蔽區下方之第二導電類型之摻雜區,穿過溝槽之底部延伸,並包圍著溝槽底部。在半導體基板之頂面上方設置至少一個金屬接頭,電連接到至少兩個溝槽之屏蔽電極,並且短接至本體區。本發明在降低導通電阻之同時,能够提高功率元件可承受之擊穿電壓。
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IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/78 .....由绝缘栅产生场效应的
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