Invention Patent
- Patent Title: 金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之半導體功率元件結構
- Patent Title (English): Improved termination design of semiconductor power device by metal strapping guard ring trenches shorted to a body region to shrink termination area
- Patent Title (中): 金属带保护环沟槽短接本体区以缩小端接区之半导体功率组件结构
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Application No.: TW103141917Application Date: 2014-12-03
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Publication No.: TW201528522APublication Date: 2015-07-16
- Inventor: 帕德馬納班 凱西克 , PADMANABHAN, KARTHIK , 博德 馬督兒 , BOBDE, MADHUR
- Applicant: 萬國半導體股份有限公司 , ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Assignee: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Current Assignee: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Agent 楊長峯; 李國光; 張仲謙
- Priority: US14/098,538 20131206
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/28
Abstract:
本發明提出一種金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之結構,其中形成在第一導電類型之半導體基板中之半導體功率元件,包括一個主動區和一個包圍著主動區並且設置在半導體基板邊緣附近之端接區。端接區包括多個用導電材料填充之溝槽,構成一個屏蔽電極,沿溝槽側壁和溝槽底面藉由電介質層絕緣, 其中溝槽穿過半導體基板頂面附近之第二導電類型之本體區垂直延伸到第一導電類型之表面屏蔽區。設置在表面屏蔽區下方之第二導電類型之摻雜區,穿過溝槽之底部延伸,並包圍著溝槽底部。在半導體基板之頂面上方設置至少一個金屬接頭,電連接到至少兩個溝槽之屏蔽電極,並且短接至本體區。本發明在降低導通電阻之同時,能够提高功率元件可承受之擊穿電壓。
Public/Granted literature
- TWI552352B 金屬帶保護環溝槽短接本體區以縮小端接區之半導體功率元件結構 Public/Granted day:2016-10-01
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IPC分类: