- 专利标题： Rotary plate for holding a substrate for a coating device
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申请号： US15562006申请日： 2016-03-23
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公开(公告)号： US10919071B2公开(公告)日： 2021-02-16
- 发明人: Pirmin Muffler
- 申请人： OBDUCAT AB
- 申请人地址： SE Lund
- 专利权人： OBDUCAT AB
- 当前专利权人： OBDUCAT AB
- 当前专利权人地址： SE Lund
- 代理机构： Bachman & LaPointe, PC
- 优先权： DE102015104735 20150327
- 国际申请： PCT/EP2016/056322 WO 20160323
- 国际公布： WO2016/156134 WO 20161006
- 主分类号： B05D3/12
- IPC分类号： B05D3/12 ; B05C13/00 ; H01L21/683 ; H01L21/687 ; B05C11/08 ; B05D1/00 ; H01L21/67
摘要：
A rotary plate for holding a substrate for a coating device, which rotary plate comprises a plurality of suction points, is intended to be characterized by an annular elevation, wherein a diameter of the annular elevation substantially corresponds to a diameter of the substrate.
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