发明申请
- 专利标题： COMPOSITION FOR IMPROVING DRYNESS DURING WIRE SAWING
- 专利标题（中）： 用于在线锯中改善干燥的组合物
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申请号： US13133857申请日： 2009-12-21
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公开(公告)号： US20110239836A1公开(公告)日： 2011-10-06
- 发明人: Nevin Naguib Sant , Steven Grumbine , Kevin Moeggenborg
- 申请人： Nevin Naguib Sant , Steven Grumbine , Kevin Moeggenborg
- 专利权人： CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- 当前专利权人： CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- 国际申请： PCT/US09/68909 WO 20091221
- 主分类号： B26D7/00
- IPC分类号： B26D7/00 ; C09K3/14 ; B24C11/00
摘要：
The invention provides a composition for slicing a substrate using a wire saw wherein the composition comprises a liquid carrier and an abrasive. The invention further provides methods of slicing a substrate using a wire saw and a composition.
公开/授权文献
- US08597538B2 Composition for improving dryness during wire sawing 公开/授权日：2013-12-03
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