发明申请
- 专利标题： PHOTONIC SENSOR AND A METHOD OF MANUFACTURING SUCH A SENSOR
- 专利标题（中）： 光电传感器和制造这种传感器的方法
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申请号： US13692748申请日： 2012-12-03
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公开(公告)号： US20140151557A1公开(公告)日： 2014-06-05
- 发明人: Paul Martin Lambkin , William Allan Lane
- 申请人： ANALOG DEVICES, INC.
- 申请人地址： US MA Norwood
- 专利权人： ANALOG DEVICES, INC.
- 当前专利权人： ANALOG DEVICES, INC.
- 当前专利权人地址： US MA Norwood
- 主分类号： G01J5/04
- IPC分类号： G01J5/04 ; H01L31/18 ; G01K7/02
摘要：
A photonic sensor, comprising: a platform, a temperature sensor on the platform; and a structure formed on or as part of the platform.
公开/授权文献
- US09297700B2 Photonic sensor and a method of manufacturing such a sensor 公开/授权日：2016-03-29
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