- 专利标题： SEGMENTATION OR CROSS SECTIONS OF HIGH ASPECT RATIO STRUCTURES
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申请号： US18487844申请日： 2023-10-16
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公开(公告)号： US20240087134A1公开(公告)日： 2024-03-14
- 发明人: Dmitry Klochkov , Jens Timo Neumann , Thomas Korb , Eno Töppe , Johannes Persch , Abhilash Srikantha , Alexander Freytag
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 优先权： DE 2021110054.2 2021.04.21
- 主分类号： G06T7/149
- IPC分类号： G06T7/149 ; G06T7/00
摘要：
A method identifies ring structures in pillars of high aspect ratio (HAR) structures. For segmentation of rings, a machine learning-logic is used. A two-step training method for the machine learning logic is described.
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