发明授权
- 专利标题： Alkenylphenol and alkenylphenol ether copolymers
- 专利标题（中）： 烯基酚和烯基酚醚共聚物
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申请号： US166437申请日： 1988-03-10
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公开(公告)号： US4791176A公开(公告)日： 1988-12-13
- 发明人: Siegfried Birkle , Recai Sezi , Hans-Dieter Feucht
- 申请人： Siegfried Birkle , Recai Sezi , Hans-Dieter Feucht
- 申请人地址： DEX Mu
- 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： DEX Mu
- 优先权： DEX3707843 19870311
- 主分类号： C08F214/00
- IPC分类号： C08F214/00 ; C08F12/00 ; C08F14/00 ; C08F212/10 ; C08F212/14 ; C08F230/08 ; G03F7/075 ; C08F30/08
摘要：
The invention relates to new copolymers of alkenyl phenol or alkenyl phenol ether in combination with alkenyl silanes. These copolymers are useful positive photoresists.
公开/授权文献
- US4312831A Quaternaries of tertiary amino-substituted thiazines 公开/授权日：1982-01-26
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