发明授权
- 专利标题： Evaporation source with a shaped nozzle
- 专利标题（中）： 具有成形喷嘴的蒸发源
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申请号： US14318申请日： 1987-02-13
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公开(公告)号： US4812326A公开(公告)日： 1989-03-14
- 发明人: Hisashi Tsukazaki , Kenichiro Yamanishi , Seiji Yasunaga
- 申请人： Hisashi Tsukazaki , Kenichiro Yamanishi , Seiji Yasunaga
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX61-197595 19860822
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32 ; B05B1/24 ; B05B5/025 ; C23C14/22 ; C23C14/24 ; B05D3/06 ; B05B5/02 ; C23C16/00
摘要：
An evaporation source in which an evaporation material is vaporized and jetted through a nozzle having a gradually opening cross-section, whereby the size of atom clusters of the jetted vapor can be controlled.
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