发明授权
- 专利标题： Solubilization-inhibitor and positive resist composition
- 专利标题（中）： 溶解抑制剂和阳性抗性组合物
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申请号： US562655申请日： 1990-08-03
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公开(公告)号： US5202217A公开(公告)日： 1993-04-13
- 发明人: Masaaki Todoko , Takashi Taniguchi , Toru Seita , Shinji Sato , Katuya Shibata
- 申请人： Masaaki Todoko , Takashi Taniguchi , Toru Seita , Shinji Sato , Katuya Shibata
- 申请人地址： JPX Shinnanyo
- 专利权人： Tosoh Corporation
- 当前专利权人： Tosoh Corporation
- 当前专利权人地址： JPX Shinnanyo
- 优先权： JPX1-203856 19890808; JPX1-245306 19890922; JPX2-11702 19900123; JPX2-28566 19900209
- 主分类号： C07C229/12
- IPC分类号： C07C229/12 ; C07C245/14 ; C07F7/18 ; G03F7/004 ; G03F7/022
摘要：
A positive resist composition comprising an aromatic group-containing alkali-soluble resin and a compound having an ammonium salt as skeleton, as the main components.
公开/授权文献
- US4512389A Heat transfer element assembly 公开/授权日：1985-04-23