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发明授权
Solubilization-inhibitor and positive resist composition 失效
标题翻译：溶解抑制剂和阳性抗性组合物

公开(公告)号：US5202217A

公开(公告)日：1993-04-13

申请号：US562655

申请日：1990-08-03

申请人： Masaaki Todoko , Takashi Taniguchi , Toru Seita , Shinji Sato , Katuya Shibata

发明人： Masaaki Todoko , Takashi Taniguchi , Toru Seita , Shinji Sato , Katuya Shibata

IPC分类号： C07C229/12 , C07C245/14 , C07F7/18 , G03F7/004 , G03F7/022

CPC分类号： C07F7/1852 , C07C229/12 , C07C245/14 , C07F7/1844 , G03F7/0045 , G03F7/0226 , Y10S430/115

摘要： A positive resist composition comprising an aromatic group-containing alkali-soluble resin and a compound having an ammonium salt as skeleton, as the main components.