发明授权
US5589962A Active matrix display device using aluminum alloy in scanning signal
line or video signal line
失效
主动矩阵显示装置采用铝合金扫描信号线或视频信号线
- 专利标题： Active matrix display device using aluminum alloy in scanning signal line or video signal line
- 专利标题（中）： 主动矩阵显示装置采用铝合金扫描信号线或视频信号线
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申请号： US467967申请日： 1995-06-06
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公开(公告)号： US5589962A公开(公告)日： 1996-12-31
- 发明人: Hideaki Yamamoto , Haruo Matsumaru , Tetsuaki Suzuki , Mitsuo Nakatani , Michio Tsukii , Akira Sasano , Saburo Oikawa , Ryoji Oritsuki
- 申请人： Hideaki Yamamoto , Haruo Matsumaru , Tetsuaki Suzuki , Mitsuo Nakatani , Michio Tsukii , Akira Sasano , Saburo Oikawa , Ryoji Oritsuki
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX4-147120 19920608
- 主分类号： G02F1/133
- IPC分类号： G02F1/133 ; G02F1/1333 ; G02F1/1343 ; G02F1/136 ; G02F1/1362 ; G02F1/1368 ; H01L21/336 ; H01L27/12 ; H01L29/78 ; H01L29/786
摘要：
An anodized oxide film of Al is formed on a scanning signal line and a gate electrode. An alloy of Al containing Ta and Ti is used as material of each of the scanning signal line and gate electrode. The thickness of the anodized oxide film is set to 1,000 angstroms or more. The fabrication yield and reliability can be improved.
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