发明授权
US5601869A Metal polyoxyalkylated precursor solutions in an octane solvent and
method of making the same
失效
金属聚氧烷基化前体溶液在辛烷溶剂中及其制备方法
- 专利标题： Metal polyoxyalkylated precursor solutions in an octane solvent and method of making the same
- 专利标题（中）： 金属聚氧烷基化前体溶液在辛烷溶剂中及其制备方法
-
申请号： US478399申请日： 1995-06-07
-
公开(公告)号： US5601869A公开(公告)日： 1997-02-11
- 发明人: Michael C. Scott , Carlos A. Paz de Araujo
- 申请人： Michael C. Scott , Carlos A. Paz de Araujo
- 申请人地址： CO Colorado Springs
- 专利权人： Symetrix Corporation
- 当前专利权人： Symetrix Corporation
- 当前专利权人地址： CO Colorado Springs
- 主分类号： C23C18/12
- IPC分类号： C23C18/12 ; C30B7/00 ; H01C7/10 ; H01C7/112 ; H01L21/02 ; H01L21/314 ; H01L21/316 ; H01L27/108 ; H01L27/115 ; B05D5/12
摘要：
A liquid precursor solution for use according to a method of manufacturing metal oxide electronic components includes a polyoxyalkylated metal complex dispersed in an alkane solvent. The alkane solvent is preferably n-octane.
公开/授权文献
- US5080343A Sheet film loading apparatus 公开/授权日：1992-01-14
信息查询
IPC分类:
