发明授权
- 专利标题： Acoustically agitated delivery
- 专利标题（中）： 声音搅动输送
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申请号： US116792申请日： 1998-07-16
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公开(公告)号： US6106374A公开(公告)日： 2000-08-22
- 发明人: Karl E. Boggs , Leonard C. Stevens
- 申请人： Karl E. Boggs , Leonard C. Stevens
- 申请人地址： NY Armonk
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： NY Armonk
- 主分类号： B24B1/04
- IPC分类号： B24B1/04 ; B24B37/04 ; B24B57/02 ; B24B57/00
摘要：
A chemical mechanical polishing apparatus comprises a delivery system for supplying a slurry, wherein the slurry includes suspended particles and at least one acoustic element, connected to the delivery system, the acoustic element generating sound waves for agitating the slurry and maintaining the particles in suspension.
公开/授权文献
- USD430879S Computer mouse 公开/授权日：2000-09-12
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