发明授权
- 专利标题： Container of coolant
- 专利标题（中）： 冷却液容器
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申请号： US75421申请日： 1998-05-08
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公开(公告)号： US6125644A公开(公告)日： 2000-10-03
- 发明人: Shih-Hsun Chiu , Li-Chung Lee , Wei-Sheng Chia , Patrick Cheng
- 申请人： Shih-Hsun Chiu , Li-Chung Lee , Wei-Sheng Chia , Patrick Cheng
- 申请人地址： TWX
- 专利权人： United Microelectronics, Corp.
- 当前专利权人： United Microelectronics, Corp.
- 当前专利权人地址： TWX
- 优先权： TWX87205036 19980403
- 主分类号： G03F7/22
- IPC分类号： G03F7/22 ; G03F7/20 ; H01L21/027 ; F28D15/00 ; F25D23/12
摘要：
A container of coolant used in a NIKON.TM. stepper is utilizing a screw cap to air-tightly close a coolant inlet of the container of coolant. The container of coolant is a closed system except the coolant inlet, a circulative input duct and a circulative output duct.
公开/授权文献
- USD395462S Mini craps table top 公开/授权日：1998-06-23
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IPC分类:
