发明授权
- 专利标题： Proximity meniscus manifold
- 专利标题（中）： 近似弯液面歧管
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申请号： US10817133申请日： 2004-04-01
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公开(公告)号： US07389783B2公开(公告)日： 2008-06-24
- 发明人: Carl Woods , Michael G. R. Smith , John Parks , James P. Garcia , John M. de Larios
- 申请人： Carl Woods , Michael G. R. Smith , John Parks , James P. Garcia , John M. de Larios
- 申请人地址： US CA Fremont
- 专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Fremont
- 代理机构： Martine Penilla & Gancarella, LLP
- 主分类号： B08B3/02
- IPC分类号： B08B3/02
摘要：
An apparatus for processing a substrate is provided which includes a first manifold module to generate a fluid meniscus on a substrate surface. The apparatus also includes a second manifold module to connect with the first manifold module and also to move the first manifold module into close proximity to the substrate surface to generate the fluid meniscus.
公开/授权文献
- US20050139318A1 Proximity meniscus manifold 公开/授权日：2005-06-30
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IPC分类:
