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发明授权
US07829408B2 Laterally double-diffused metal oxide semiconductor transistor and method for fabricating the same 有权
横向双扩散金属氧化物半导体晶体管及其制造方法

Laterally double-diffused metal oxide semiconductor transistor and method for fabricating the same
摘要：
The present invention discloses a laterally double-diffused metal oxide semiconductor transistor (LDMOS) and a method for fabricating the same. The LDMOS includes a substrate, a first well, a drain, a second well and a source. The substrate includes a first conductive dopant. The first well includes a second conductive dopant and formed in a part of the substrate, and the drain is located in the first well. The second well includes the first conductive dopant and formed in another part of the substrate, and the source located in the second well. The source includes a lightly doped region and a heavily doped region extending downwardly from a top surface of the substrate. The depth of the lightly doped region is more than the depth of the heavily doped region.
摘要（中）：

本发明公开了一种横向双扩散金属氧化物半导体晶体管（LDMOS）及其制造方法。 LDMOS包括衬底，第一阱，漏极，第二阱和源极。 衬底包括第一导电掺杂剂。 第一阱包括第二导电掺杂剂并形成在衬底的一部分中，并且漏极位于第一阱中。 第二阱包括第一导电掺杂剂并且形成在衬底的另一部分中，并且源位于第二阱中。 源包括从衬底的顶表面向下延伸的轻掺杂区域和重掺杂区域。 轻掺杂区域的深度大于重掺杂区域的深度。

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IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77 ..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78 ...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）
H01L21/82 ....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822 .....衬底是采用硅工艺的半导体的（H01L21/8258优先）
H01L21/8232 ......场效应工艺
H01L21/8234 .......MIS工艺
H01L21/8238 ........互补场效应晶体管，例如CMOS
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