发明授权
- 专利标题： Isotope ion microscope methods and systems
- 专利标题（中）： 同位素离子显微镜的方法和系统
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申请号： US12999683申请日： 2009-05-26
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公开(公告)号： US08399834B2公开(公告)日： 2013-03-19
- 发明人: John Notte, IV , Sybren Sijbrandij
- 申请人： John Notte, IV , Sybren Sijbrandij
- 申请人地址： US DE Dover
- 专利权人： Carl Zeiss NTS, LLC
- 当前专利权人： Carl Zeiss NTS, LLC
- 当前专利权人地址： US DE Dover
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 国际申请： PCT/US2009/045133 WO 20090526
- 国际公布： WO2009/154954 WO 20091223
- 主分类号： G01N23/225
- IPC分类号： G01N23/225 ; G21K5/00 ; H01J37/08 ; H01J1/50 ; H01J3/14
摘要：
Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.
公开/授权文献
- US20110139979A1 ISOTOPE ION MICROSCOPE METHODS AND SYSTEMS 公开/授权日：2011-06-16
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