公开(公告)号：US08669525B2

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：US12997686

申请日：2009-05-26

申请人： Sybren Sijbrandij ,  John Notte, IV ,  William B. Thompson

发明人： Sybren Sijbrandij ,  John Notte, IV ,  William B. Thompson

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： G01N23/2251 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2258 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2803 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The disclosure relates to sample inspection using an ion-beam microscope. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.

摘要翻译： 本公开涉及使用离子束显微镜的样品检查。 在一些实施例中，本公开涉及多个检测器的使用，每个检测器提供关于样品的不同信息。

公开(公告)号：US08399834B2

公开(公告)日：2013-03-19

申请号：US12999683

申请日：2009-05-26

申请人： John Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： G01N23/225 ,  G21K5/00 ,  H01J37/08 ,  H01J1/50 ,  H01J3/14

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用He-3。

公开(公告)号：US20110139979A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12999683

申请日：2009-05-26

申请人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： G01N23/225 ,  G21K5/00 ,  H01J37/08 ,  H01J1/50 ,  H01J3/14

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用He-3。

公开(公告)号：US20130175444A1

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：US13783534

申请日：2013-03-04

申请人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： H01J37/285 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, an isotope of Neon is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用氖的同位素。

公开(公告)号：US08648299B2

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：US13783534

申请日：2013-03-04

申请人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/317 ,  H01J37/30

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, an isotope of Neon is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用氖的同位素。

公开(公告)号：US20110121176A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12997686

申请日：2009-05-26

申请人： Sybren Sijbrandij ,  John A. Notte, IV ,  William B. Thompson

发明人： Sybren Sijbrandij ,  John A. Notte, IV ,  William B. Thompson

IPC分类号： G01N23/225

CPC分类号： G01N23/2251 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2258 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2803 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The disclosure relates to sample inspection using an ion-beam microscope. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.

摘要翻译： 本公开涉及使用离子束显微镜的样品检查。 在一些实施例中，本公开涉及多个检测器的使用，每个检测器提供关于样品的不同信息。