公开(公告)号：US20120199737A1

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：US13233397

申请日：2011-09-15

申请人： Diederik Jan Maas ,  Maria Rudneva ,  Emile van Veldhoven ,  Hendrik Willem Zandbergen

发明人： Diederik Jan Maas ,  Maria Rudneva ,  Emile van Veldhoven ,  Hendrik Willem Zandbergen

IPC分类号： G01N23/02 ,  B01J19/08

CPC分类号： H01J37/30 ,  G01N1/286 ,  H01J2237/31745

摘要： Disclosed are methods for preparing samples that include forming a first channel in a material by directing a first plurality of noble gas ions at the material, forming a second channel in the material by directing a second plurality of noble gas ions at the material, where the second channel is spaced from the first channel so that a portion of the material between channels has a mean thickness of 100 nm or less, and detaching the portion from the material to yield the sample.

摘要翻译： 公开了用于制备样品的方法，其包括通过在材料处引导第一多个惰性气体离子而在材料中形成第一通道，通过在材料处引导第二多个惰性气体离子在材料中形成第二通道， 第二通道与第一通道间隔开，使得通道之间的材料的一部分具有100nm或更小的平均厚度，并且将该部分与材料分离以产生样品。

公开(公告)号：US20120068067A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：US13276879

申请日：2011-10-19

申请人： Lawrence Scipioni

发明人： Lawrence Scipioni

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0653 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

摘要： The disclosure relates to ion beams systems, such as gas field ion microscopes, having multiple modes of operation, as well as related methods. In some embodiments, the disclosure provides a method of operating a gas field ion microscope system that includes a gas field ion source, where the gas field ion source includes a tip including a plurality of atoms.

摘要翻译： 本公开涉及具有多种操作模式的离子束系统，例如气体离子显微镜，以及相关方法。 在一些实施例中，本公开提供了一种操作包括气体离子源的气体场离子显微镜系统的方法，其中气体场离子源包括具有多个原子的尖端。

公开(公告)号：US20110139979A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12999683

申请日：2009-05-26

申请人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John A. Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： G01N23/225 ,  G21K5/00 ,  H01J37/08 ,  H01J1/50 ,  H01J3/14

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用He-3。

公开(公告)号：US08399834B2

公开(公告)日：2013-03-19

申请号：US12999683

申请日：2009-05-26

申请人： John Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

发明人： John Notte, IV ,  Sybren Sijbrandij

IPC分类号： G01N23/225 ,  G21K5/00 ,  H01J37/08 ,  H01J1/50 ,  H01J3/14

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用He-3。

公开(公告)号：US08384029B2

公开(公告)日：2013-02-26

申请号：US12994344

申请日：2009-06-16

申请人： Rainer Knippelmeyer ,  Lawrence Scipioni ,  Christoph Riedesel ,  John Morgan ,  Ulrich Mantz ,  Ulrich Wagemann

发明人： Rainer Knippelmeyer ,  Lawrence Scipioni ,  Christoph Riedesel ,  John Morgan ,  Ulrich Mantz ,  Ulrich Wagemann

IPC分类号： G01N1/28 ,  G01N23/00 ,  H01L21/44

CPC分类号： G01N1/286 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31745 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A first instrument (230) is used to image a first semiconductor article having a trench (110) of defined cross-section, while a second instrument (220) is used to simultaneously prepare a second semiconductor article with a trench of defined cross-section. Furthermore, a method is disclosed to prepare a trench (110) of defined cross-section in a semiconductor article by rough milling and subsequent fine milling.

摘要翻译： 第一仪器（230）用于对具有限定横截面的沟槽（110）的第一半导体产品成像，而第二器械（220）用于同时制备具有限定横截面的沟槽的第二半导体产品 。 此外，公开了一种通过粗铣和随后的精细铣削在半导体制品中制备具有限定横截面的沟槽（110）的方法。

公开(公告)号：US20120138815A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：US13328326

申请日：2011-12-16

申请人： Raymond Hill ,  John Notte, IV

发明人： Raymond Hill ,  John Notte, IV

IPC分类号： H01J27/02

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/241 ,  H01J37/243 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/24564

摘要： Charged particle system are disclosed and include a first voltage source, a second voltage source electrically isolated from the first voltage source, a charged particle source electrically connected to the first voltage source, and an extractor electrically connected to the second voltage source. Methods relating to the charged particle systems are also disclosed.

摘要翻译： 公开了带电粒子系统，并且包括第一电压源，与第一电压源电隔离的第二电压源，电连接到第一电压源的带电粒子源，以及电连接到第二电压源的提取器。 还公开了与带电粒子系统有关的方法。

公开(公告)号：US20120097849A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13336274

申请日：2011-12-23

申请人： FHM-Faridur Rahman ,  Louis S. Farkas, III ,  John A. Notte, IV

发明人： FHM-Faridur Rahman ,  Louis S. Farkas, III ,  John A. Notte, IV

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J27/02 ,  H01J3/26

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/24514

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods provide high ion beam stability.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，这些系统和方法提供了高离子束稳定性。

公开(公告)号：US20110180722A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：US13062797

申请日：2009-08-12

申请人： Raymond Hill

发明人： Raymond Hill

IPC分类号： H01J37/147

CPC分类号： H01J37/1471 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/28

摘要： Disclosed are systems (2000) and a method for aligning a charged particle beam (2100) in charged particle optics that include a charged particle source (2010) and a charged particle optical column (2040), where at least one electrode (2050, 2060) of the column includes a plurality of segments, and where different electrical potentials are applied to at least some of the segments to correct for source (2010) till and/or displacement errors and to align particle beam (2100) a long axis (2045) of the column (2040). Alternatively, magnetic field-generating elements can be used for aligning.

摘要翻译： 公开了一种系统（2000）和用于使带电粒子光学器件（2100）在带电粒子源（2010）和带电粒子光学柱（2040）中对准的方法，其中至少一个电极（2050,2060） ）包括多个段，并且其中不同的电势被施加到至少一些段以校正源（2010）直到和/或位移误差并且将粒子束（2100）对准长轴（2045） ）（2040）。 或者，可以使用磁场产生元件来对准。

公开(公告)号：US20110127428A1

公开(公告)日：2011-06-02

申请号：US12994316

申请日：2009-05-26

申请人： Raymond Hill ,  John A. Notte, IV

发明人： Raymond Hill ,  John A. Notte, IV

IPC分类号： G01N23/225

CPC分类号： G01N23/2255 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449

摘要： Systems and methods to detect electrons from one or more samples are disclosed. In some embodiments, the systems and methods involve one or more magnetic field sources, for deflecting secondary electrons emitted from the surface of the samples.

摘要翻译： 公开了从一个或多个样品检测电子的系统和方法。 在一些实施例中，系统和方法涉及用于偏转从样品表面发射的二次电子的一个或多个磁场源。

公开(公告)号：US20110121176A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12997686

申请日：2009-05-26

申请人： Sybren Sijbrandij ,  John A. Notte, IV ,  William B. Thompson

发明人： Sybren Sijbrandij ,  John A. Notte, IV ,  William B. Thompson

IPC分类号： G01N23/225

CPC分类号： G01N23/2251 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2258 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2803 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The disclosure relates to sample inspection using an ion-beam microscope. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.

摘要翻译： 本公开涉及使用离子束显微镜的样品检查。 在一些实施例中，本公开涉及多个检测器的使用，每个检测器提供关于样品的不同信息。