发明授权
- 专利标题： Apparatus for producing a charged particle beam
- 专利标题（中）： 用于产生带电粒子束的装置
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申请号： US12529163申请日： 2008-02-21
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公开(公告)号： US08593051B2公开(公告)日： 2013-11-26
- 发明人: Timothy Andrew James Holmes , Mervyn Howard Davis
- 申请人： Timothy Andrew James Holmes , Mervyn Howard Davis
- 申请人地址： GB Havant Hampshire
- 专利权人： Nordiko Technical Services Limited
- 当前专利权人： Nordiko Technical Services Limited
- 当前专利权人地址： GB Havant Hampshire
- 代理机构： Armstrong Teasdale LLP
- 优先权： GB0704079.3 20070302; GB0708104.5 20070426
- 国际申请： PCT/GB2008/050118 WO 20080221
- 国际公布： WO2008/107705 WO 20080912
- 主分类号： H01J27/02
- IPC分类号： H01J27/02 ; H05B31/26 ; H01T23/00
摘要：
Apparatus for the production of a charged particle beam, comprising: an ion source plasma chamber (104), having a door (106), and an accelerator (102) mounted on the face of the door remote from the ion source plasma chamber.
公开/授权文献
- US20100187970A1 APPARATUS 公开/授权日：2010-07-29
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