发明授权
- 专利标题： Compliant micro device transfer head
- 专利标题（中）： 符合微器件传输头
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申请号： US13466966申请日： 2012-05-08
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公开(公告)号： US09105492B2公开(公告)日： 2015-08-11
- 发明人: Andreas Bibl , John A. Higginson , Hsin-Hua Hu
- 申请人： Andreas Bibl , John A. Higginson , Hsin-Hua Hu
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： LuxVue Technology Corporation
- 当前专利权人： LuxVue Technology Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP
- 主分类号： G01P15/125
- IPC分类号： G01P15/125 ; H01L25/075 ; H01L21/67 ; H01L33/00
摘要：
A compliant micro device transfer head and head array are disclosed. In an embodiment a micro device transfer head includes a spring portion that is deflectable into a space between a base substrate and the spring portion.
公开/授权文献
- US20130300812A1 COMPLIANT MICRO DEVICE TRANSFER HEAD 公开/授权日：2013-11-14
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IPC分类:
