发明授权
- 专利标题： Methods of manufacturing large-area sputtering targets using interlocking joints
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申请号： US14793931申请日： 2015-07-08
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公开(公告)号： US09293306B2公开(公告)日： 2016-03-22
- 发明人: Scott Jeffrey Volchko , William Loewenthal , Stefan Zimmermann , Mark Gaydos , Steven Alfred Miller
- 申请人： Scott Jeffrey Volchko , William Loewenthal , Stefan Zimmermann , Mark Gaydos , Steven Alfred Miller
- 申请人地址： US MA Newton
- 专利权人： H.C. Starck, Inc.
- 当前专利权人： H.C. Starck, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Newton
- 代理机构： Morgan, Lewis & Bockius LLP
- 主分类号： B05D1/02
- IPC分类号： B05D1/02 ; H01J37/34 ; C23C14/34 ; B23K31/02 ; C23C24/04
摘要：
In various embodiments, joined sputtering targets are formed at least in part by spray deposition of the sputtering material and/or welding.
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