发明授权
- 专利标题： In line ellipsometer system and method of use
- 专利标题（中）： 在线椭偏仪系统及使用方法
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申请号： US13385761申请日： 2012-03-06
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公开(公告)号： US09347768B1公开(公告)日： 2016-05-24
- 发明人: Galen L. Pfeiffer , Blaine D. Johs , Brian D. Guenther , Martin M. Liphardt , Jeffrey S. Hale
- 申请人： Galen L. Pfeiffer , Blaine D. Johs , Brian D. Guenther , Martin M. Liphardt , Jeffrey S. Hale
- 申请人地址： US NE Lincoln
- 专利权人： J.A. WOOLLAM CO., INC
- 当前专利权人： J.A. WOOLLAM CO., INC
- 当前专利权人地址： US NE Lincoln
- 代理商 James D. Welch
- 主分类号： G01J4/00
- IPC分类号： G01J4/00 ; G01B11/14 ; G01J3/02 ; G01J1/02 ; G01N21/01
摘要：
A system for monitoring, in real time, relatively large samples as they are caused to pass by an ellipsometer or the like system, and method of its use.
公开/授权文献
- US3198958A Bistable circuit 公开/授权日：1965-08-03
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