发明授权
- 专利标题： Strain mapping in TEM using precession electron diffraction
- 专利标题（中）： 使用进动电子衍射的TEM中的应变映射
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申请号： US14890560申请日： 2014-05-23
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公开(公告)号： US09568442B2公开(公告)日： 2017-02-14
- 发明人: Mitra Lenore Taheri , Asher Calvin Leff
- 申请人： Mitra Lenore Taheri , Asher Calvin Leff
- 申请人地址： US PA Philadelphia
- 专利权人： Drexel University
- 当前专利权人： Drexel University
- 当前专利权人地址： US PA Philadelphia
- 代理机构： Mendelsohn Dunleavy, P.C.
- 国际申请： PCT/US2014/039293 WO 20140523
- 国际公布： WO2014/190239 WO 20141127
- 主分类号： G01N23/20
- IPC分类号： G01N23/20 ; G01N23/02 ; G01L1/25 ; G01N23/04 ; H01J37/26
摘要：
A sample material is scanned with a transmission electron microscope (TEM) over multiple steps having a predetermined size at a predetermined angle. Each scan at a predetermined step and angle is compared to a template, wherein the template is generated from parameters of the material and the scanning. The data is then analyzed using local mis-orientation mapping and/or Nye's tensor analysis to provide information about local strain states.
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