发明授权
- 专利标题： Compositions for cleaning III-V semiconductor materials and methods of using same
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申请号： US14648815申请日： 2013-12-04
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公开(公告)号： US09765288B2公开(公告)日： 2017-09-19
- 发明人: Emanuel I. Cooper , Hsing-Chen Wu , Min-Chieh Yang , Sheng-Hung Tu , Li-Min Chen
- 申请人： ENTEGRIS, INC. , ATMI TAIWAN CO., LTD
- 申请人地址： US MA Billerica
- 专利权人： ENTEGRIS, INC.
- 当前专利权人： ENTEGRIS, INC.
- 当前专利权人地址： US MA Billerica
- 国际申请： PCT/US2013/073096 WO 20131204
- 国际公布： WO2014/089196 WO 20140612
- 主分类号： C11D7/04
- IPC分类号： C11D7/04 ; C11D7/26 ; C11D7/32 ; C11D3/00 ; C11D7/08 ; C11D11/00
摘要：
Liquid compositions useful for the cleaning of residue and contaminants from a III-V microelectronic device material, such as InGaAs, without substantially removing the III-V material. The liquid compositions are improvements of the SC1 and SC2 formulations.
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