Invention Application
- Patent Title: 被測定物の検査測定装置
- Patent Title (English): Instrument for examining/measuring object to be measured
- Patent Title (中): 用于检查/测量对象的仪器要测量
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Application No.: PCT/JP2008/060843Application Date: 2008-06-13
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Publication No.: WO2008153127A1Publication Date: 2008-12-18
- Inventor: 相川 徹郎 , 佐藤 美徳 , 大嶽 達哉 , 向井 成彦 , 穂積 久士 , 湯口 康弘
- Applicant: 株式会社東芝 , 相川 徹郎 , 佐藤 美徳 , 大嶽 達哉 , 向井 成彦 , 穂積 久士 , 湯口 康弘
- Applicant Address: 〒1058001 東京都港区芝浦一丁目1番1号 Tokyo JP
- Assignee: 株式会社東芝,相川 徹郎,佐藤 美徳,大嶽 達哉,向井 成彦,穂積 久士,湯口 康弘
- Current Assignee: 株式会社東芝,相川 徹郎,佐藤 美徳,大嶽 達哉,向井 成彦,穂積 久士,湯口 康弘
- Current Assignee Address: 〒1058001 東京都港区芝浦一丁目1番1号 Tokyo JP
- Agency: 波多野 久 et al.
- Priority: JP2007-159142 20070615
- Main IPC: G01C3/06
- IPC: G01C3/06 ; G01B11/00 ; G01B11/02
Abstract:
被測定物の検査測定装置は、被測定物の測定対象に2次元の光パターンを投影する光投影装置と、被測定物を撮影するステレオ配置の複数台の撮影装置と、前記撮影装置の少なくとも一方の姿勢を回転させて前記撮影装置間の視差角を制御する駆動装置とを有する距離測定装置と、前記駆動装置を制御し、撮影装置の光軸が交差する位置を調整するワークディスタンス制御装置と、前記撮影装置の画像間で同一領域を撮影した対応位置を求める対応位置演算装置と、この演算装置の演算結果から被測定物の測定対象までの距離を演算する距離演算装置を有する距離演算装置とを備える。
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