Invention Application
WO2012147610A1 放熱基板 审中-公开
热消散基板

放熱基板
Abstract:
 本放熱基板(1)は、第1の金属ダイヤモンド複合層(11)と、第2の金属ダイヤモンド複合層(12)と、第1の金属ダイヤモンド複合層(11)と第2の金属ダイヤモンド複合層(12)との間に配置された芯材層(10)と、を含み、第1の金属ダイヤモンド複合層(11)および第2の金属ダイヤモンド複合層(12)は、それぞれのダイヤモンド含有率が50体積%未満であり、芯材層(10)は、主面に平行な方向の熱膨張係数が4.5×10 -6 K -1 以上13×10 -6 K -1 以下で、厚さ方向の熱伝導率が140W・m -1 ・K -1 以上である。これにより、半導体素子を搭載または保持するために適した熱膨張係数と高い熱伝導率とを有する低価格の放熱基板が提供される。
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